靜電測(cè)試內(nèi)容： 泄漏電阻 系統(tǒng)接地電阻 體積電阻 表面電阻 系統(tǒng)電阻 依據(jù)規(guī)范：GB50591-2010《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》 GB/T25915-2010 《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》 ISO 14644_2006 Cleanrooms and associated controlled environments
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